威格斯VICOTE塗料獲擎邦採用

2008-01-18
威格斯(Victrex)宣布以VICTREX PEEK聚合物為基礎的VICOTE塗料已獲得擎邦國際科技(King Polytechnic Engineering)採用,應用於2/8/12以上晶圓與LCD面板的中大型/DIP/SPIN設備系列上。VICOTE 804 BLK所具有的優異耐化學性、耐高溫性與絕佳附著性成功取代舊有的PTFE塗層。VICOTE塗料可減少塗布機在顯影、蝕刻與去光阻製程中所產生的發塵量,不但可延長設備使用壽命與減少設備維修需求,更可提升晶圓與LCD面板的生產效率與製程良率。  
威格斯(Victrex)宣布以VICTREX PEEK聚合物為基礎的VICOTE塗料已獲得擎邦國際科技(King Polytechnic Engineering)採用,應用於2/8/12以上晶圓與LCD面板的中大型/DIP/SPIN設備系列上。VICOTE 804 BLK所具有的優異耐化學性、耐高溫性與絕佳附著性成功取代舊有的PTFE塗層。VICOTE塗料可減少塗布機在顯影、蝕刻與去光阻製程中所產生的發塵量,不但可延長設備使用壽命與減少設備維修需求,更可提升晶圓與LCD面板的生產效率與製程良率。  

VICOTE塗料是以VICTREX PEEK聚合物為基礎的新世代的長效耐久型塗料,提供優異的抗刮傷、耐磨耗、耐高溫、強度和尺寸穩定性。VICOTE塗料以兩種不同形式供應,粉體塗料與液體塗料。VICOTE 700系列粉體塗料可按塗層厚度或溫度需求以靜電塗裝方法施工;VICOTE 800系列液體塗料適用於塗層較薄需求或形狀較複雜的工件。  

擎邦表示,採用VICOTE塗料可減少設備維修需求與停工時間,提升晶圓與LCD面板的生產效率與製程良率。之前所採用的PTFE在經過顯影、蝕刻與去光阻製程中的冷熱循環過程、高酸鹼化學物質及高溫環境,PTFE塗層容易掉落而導致塗布機須經常停機更新表面塗層。自從換成VICOTE塗料後,目前都還沒接到維修需求。目前適用於8吋以上晶圓與LCD面板的中大型塗布機系列都已採用VICOTE塗料。  

威格斯指出,VICOTE塗料兼具出色的耐磨性與耐化學性,可減少發塵量與可承受大部分的化學物質,用於製程設備的關鍵性零件可延長設備的使用壽命與減少設備維修需求。其不同的供應形式,如粉體塗料與液體塗料更可為終端用戶提供靈活且符合經濟效益的應用模式。  

擎邦網址:www.kpec.com.tw  

威格斯網址:www.vicote.com

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