英國威格斯(Victrex plc)宣布家登精密工業(Gudeng Precision Industrial)已成功開發與量產以VICTREX ESD PEEK聚合物為基材的8晶舟(Wafer Cassette)。這款半導體製程設備通常由美日廠商提供，家登精密的成功研發並導入量產代表著台灣半導體製程設備產業邁入新里程碑。藉由本地研發與生產製造晶舟，不但可為台灣半導體業者提供具競爭力與差異化的產品，以及更優質與迅速的技術服務支援，更可協助提升晶圓製程良率與減少系統總成本。
英國威格斯(Victrex plc)宣布家登精密工業(Gudeng Precision Industrial)已成功開發與量產以VICTREX ESD PEEK聚合物為基材的8晶舟(Wafer Cassette)。這款半導體製程設備通常由美日廠商提供，家登精密的成功研發並導入量產代表著台灣半導體製程設備產業邁入新里程碑。藉由本地研發與生產製造晶舟，不但可為台灣半導體業者提供具競爭力與差異化的產品，以及更優質與迅速的技術服務支援，更可協助提升晶圓製程良率與減少系統總成本。
半導體晶圓廠內，晶舟在運送過程中會因靜電放電(Electrostatic Discharge, ESD)引發自動作業系統當機。採用VICTREX ESD PEEK所製造的晶舟，可避免晶圓與晶舟溝槽因摩擦產生靜電放電而導致電路燒壞或因靜電吸附而導致晶圓遭到污染，達到降低靜電累積與防護目的。此外，相較用於晶舟如PP或PBT等傳統材料，VICTREX PEEK擁有高尺寸穩定性，在持續溫度變化與長期清洗下不會造成尺寸變化或變形。根據客戶反應，以VICTREX ESD PEEK聚合物為基材的晶舟使用壽命最高可達9年，而其擁有的低發塵量/低析出物，能夠減少晶圓與晶舟溝槽間的接觸點形成發塵或微粒產生，避免造成晶圓瑕疵。
除基本的耐磨耗性、超高純度、高耐熱性、耐化學性，以及尺寸穩定性，VICTREX ESD PEEK特別添加抗靜電材料，可大幅減少因摩擦產生的靜電及避免造成電路損壞。這款新開發產品不但符合半導體產業對材料的嚴苛要求，更可顯著地提升半導體製程效率與良率、降低製造成本，以及帶來創新設計與設計靈活性。產品系列包括ESD 101、ESD 102、ESD 103及ESD 201，表面阻抗值皆為106～109ohm/sq，可依對於耐磨性、吸濕性與氣體釋放(Outgassing)特性不同要求選擇適用的產品。
威格斯網址：www.victrex.com
家登精密網址：www.gudeng.com