威格斯(Victrex)宣布家登精密(Gudeng)已採用VICTREX PEEK聚合物作為其最新款150毫米單光罩標準機械介面傳送盒，簡稱光罩傳送盒(Single-reticle SMIF-pod, RSP)應用的主要元件材料。透過將VICTREX PEEK聚合物具高硬度、極少的微粒產生量、高潔淨度，以及強ESD性能等特性用於與光罩的所有接觸點上，此款專門設計的光罩傳送盒，能有效地在生產、傳送、處理光罩過程中，減少微粒產生與氣體釋出。
威格斯(Victrex)宣布家登精密(Gudeng)已採用VICTREX PEEK聚合物作為其最新款150毫米單光罩標準機械介面傳送盒，簡稱光罩傳送盒(Single-reticle SMIF-pod, RSP)應用的主要元件材料。透過將VICTREX PEEK聚合物具高硬度、極少的微粒產生量、高潔淨度，以及強ESD性能等特性用於與光罩的所有接觸點上，此款專門設計的光罩傳送盒，能有效地在生產、傳送、處理光罩過程中，減少微粒產生與氣體釋出。
家登精密技術經理李柏欣表示，處理和打開光罩傳送盒可能會導致光罩受到污染與損壞。因此，嚴格選擇傳送盒的材料是相當重要。此外，當半導體晶圓製程中透過傳送盒隔開光罩時，傳送盒必須滿足幾項重要的要求，包括限制接觸面積，以確保光罩僅與斜削角接觸，且不會在傳送盒內滑動；微粒區隔，以保護較小圖形與降低晶圓製造成本；作業員區隔，避免光罩處理失誤/刮傷/ESD破壞；製程控制，避免處理日益複雜的光罩時出現失誤。
威格斯亞太地區市務經理ST Namgoong表示，在亞洲市場，威格斯為中國大陸/日本/韓國/台灣等許多晶圓製造廠提供VICTREX PEEK聚合物。由於VICTREX PEEK具有固有高純度、高強度、耐化學性、耐高溫性，以及優良的電氣特性。因此，全世界許多半導體產業客戶都樂於採用。
威格斯網址：www.victrex.com
家登精密網址：www.gudeng.com.tw