ADAS MCU

瑞薩發布鰭狀MONOS快閃記憶體單元

2017-01-17
瑞薩(Renesas)宣布成功開發全球首創採用鰭狀電晶體的分離閘金屬氧氮氧矽(SG-MONOS)快閃記憶體單元,適用於電路線寬僅16至14奈米(nm)或更精細的微控制器(MCU)製程,且其中晶片內建快閃記憶體。SG-MONOS技術為汽車應用提供高度可靠性,同時瑞薩目前也運用此技術來量產40奈米MCU,並且正在開發28奈米MCU。此次成功開發展現SG-MONOS技術擴展至16/14奈米及以上製程的可能性。
瑞薩(Renesas)宣布成功開發全球首創採用鰭狀電晶體的分離閘金屬氧氮氧矽(SG-MONOS)快閃記憶體單元,適用於電路線寬僅16至14奈米(nm)或更精細的微控制器(MCU)製程,且其中晶片內建快閃記憶體。SG-MONOS技術為汽車應用提供高度可靠性,同時瑞薩目前也運用此技術來量產40奈米MCU,並且正在開發28奈米MCU。此次成功開發展現SG-MONOS技術擴展至16/14奈米及以上製程的可能性。

汽車自動化方面的進展,例如先進駕駛輔助系統(ADAS),以及透過物聯網(IoT)連結的智慧型社會,創造了更先進MCU的需求,並採用更精密製程技術生產。為滿足此需求,繼最新的40/28奈米產品之後,瑞薩已開發以16/14奈米技術為基礎的嵌入式快閃記憶體。在16/14奈米邏輯製程中,通常採用具有鰭狀結構的鰭式場效電晶體(FinFET),以實現更高的效能並降低功耗,克服傳統平面電晶體的擴充限制。

但是,依照快閃記憶體的結構,在嵌入式快閃記憶體中採用鰭狀結構可能會成為一大挑戰。目前已提出並實作的嵌入式快閃記憶體類型有兩種:浮閘式與電荷擷取式。相較於浮閘式記憶體,瑞薩近年來採用的電荷擷取式快閃記憶體具有優異的電荷保留特性,並且在需要高可靠性的汽車MCU中已有優良的使用記錄。另外,由於記憶體功能性材質形成於矽基板的表面,因此延展至三維鰭狀結構相對容易。相比之下,浮閘式快閃記憶體單元的結構複雜,因此不容易整合至鰭狀結構。

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